미세피치 금속배선용 Multi-Process 증착 장비[]
반도체장비연구센터 연구6동 103-1
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이재학
042-868-7362
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미세형상 측정현미경[]
나노리소그래피연구센터 연구6동 104호(펨토)
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김재구
042-868-7141
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바닥충격음 측정기준장치[Impact Sound Insulation Test Room]
가상공학플랫폼연구본부 대전 S4,회전기계연구동(연구12동) 113호
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김상렬
042-868-7466
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바이오 캔틸레버 센서 시스템[NANOMECHANICAL CANTILEVER SENSOR DEVICE]
바이오기계연구실 대전 R2,나노융합연구동(연구13동) 클린룸 1000존
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허신
042-868-7886
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바이오센서 평가 실험 장비 시스템[]
의료기계연구실 대구 첨단동 307호
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정지욱
042-868-053-670-9017
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바이오센서 평가 장비 시스템[]
의료기계연구실 대구 첨단동 202호
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이동규
042-868-053-670-9110
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박막두께측정장비 ST4000 Manual[]
나노리소그래피연구센터 연구13동 클린룸2
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최준혁
042-868-7817
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박막열전도율 측정장치 (Option 1, 2 포함)[]
나노디스플레이연구실 대전 연구1동
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한승우
042-868-7426
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발광분광분석시스템[]
광응용장비연구실 S6동 107호
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최수진
042-868-7950
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배기가스 입자 측정기(Exhaust gas Sampling system for MDT)[Exhaust gas sampling for MDT]
친환경모빌리티연구실 연구11동 실험실
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장형준
042-868-7307
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